真空ポンプの機能は、真空チャンバーからガス分子を除去し、真空チャンバー内のガス圧力を下げ、必要な真空度に到達させることです。要約すると、大気から超高真空までの広い範囲があり、これまでのところこの範囲をカバーできる真空システムはありません。したがって、さまざまな製品の技術指標、作業効率、機器の寿命要件を満たすために、さまざまな真空セクションでさまざまな真空システム構成を選択する必要があります。最適な構成を実現するには、真空システムを選択するときに次の点を考慮する必要があります。
各プロセスに必要な真空度を最初に決定する必要があります。各プロセスには独自の真空範囲があるため、注意深く検討して決定する必要があります。
システムの到達真空度によってシステムの最適な使用真空度が決まるため、プロセスの必要真空度を決定するために真空ポンプシステムの到達真空度を確認してください。一般に、システムの到達真空度は、システムの作動真空度より 20% 低く、フォアライン ポンプの到達真空度より 50% 低くなります。
プロセスに必要な抽出の種類と量を確認して決定します。ポンプで送られるガスの種類がポンプ内の液体と反応すると、ポンプ システムが汚染されるためです。同時に、適切な排気時間と抽出プロセス中に発生するガスの量を決定することも考慮する必要があります。
必要な真空度に到達するまでの時間、流路抵抗、真空配管の漏れなどを確認します。必要な真空に達した後、特定のプロセス要件の下で真空を維持するために必要な排気速度を考慮してください。